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- [实用新型]蒸气压稳定的MO源装置-CN202220974651.0有效
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闫其昂;王国斌;周溯沅
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江苏第三代半导体研究院有限公司
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2022-04-25
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2022-09-06
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C23C16/455
- 本实用新型公开了一种蒸气压稳定的MO源装置。所述蒸气压稳定的MO源装置包括:第一MO源供给单元,用于以固态MO源向所述第二MO源供给单元补充MO源蒸气;第二MO源供给单元,用于以MO源溶液向外延生长设备内提供MO源蒸气;载气缓冲单元,至少用于使自第二MO源供给单元输出的载气中携带的溶剂与载气分离;控制单元,与所述第一MO源供给单元、第二MO源供给单元、载气缓冲单元连接,并至少用于调节所述第一MO源供给单元、第二MO源供给单元、载气缓冲单元的工作状。本实用新型提供的蒸气压稳定的MO源装置,可以弥补MO源溶液中固态MO源的消耗,维持MO源溶液中的蒸气压稳定,进而提高外延生长工艺稳定性。
- 蒸气稳定mo装置
- [实用新型]热冲击试车台-CN202220037980.2有效
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周培好;孙菁微;陶立进
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北京航天三发高科技有限公司
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2022-01-09
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2022-08-02
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G01N3/60
- 一种热冲击试车台,包括依次连通的进气系统,试验段和排气系统;试验段包括连通的测试段和建压段;进气系统包括主气路和并联设置的热气源供给路和冷气源供给路;沿气体流动方向,热气源供给路上依次设置有热气源供给路流量计,热气源供给路气动球阀,热气源供给路第一加热器,热气源供给路第二加热器和热气源供给路测量段;冷气源供给路的出口与测试段的入口连通,沿气体流动方向,冷气源供给路上依次设置有冷气源供给路流量计,冷气源供给路气动球阀,冷气源供给路加热器,冷气源供给路掺混器和冷气源供给路测量段;冷气源供给路设置有冷气源供给掺混路,冷气源供给掺混路入口与主气路的出口连通,出口与冷气源供给路掺混器连通。
- 冲击试车
- [实用新型]热冲击试验台-CN202220038006.8有效
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陶立进;孙菁微
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北京航天三发高科技有限公司
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2022-01-09
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2022-08-02
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G01N3/60
- 一种热冲击试验台包括依次连通的进气系统,试验段和排气系统;试验段包括连通的测试段和建压段;进气系统包括气源,主气路和并联设置的热气源供给路,热气源供给路放气路,冷气源供给路和冷气源供给路放气路;主气路的入口与气源连通,并联设置的热气源供给路,冷气源供给路的入口均与主气路的出口连通,出口均与测试段连通;热气源供给路放气路的入口与位于热气源供给路第二加热器和掺混器的热气源供给路连通,冷气源供给路放气路的入口主气路的出口连通
- 冲击试验台
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